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在半導體貼裝工藝與制程工藝中,清洗劑的選擇直接影響器件可靠性和生產效率。以下是基于不同工藝環節的清洗劑需求分析及技術要點:
芯片粘結與引線鍵合
在芯片粘結(使用導電膠)和引線鍵合(如金線鍵合)過程中,殘留的助焊劑、錫膏或環氧樹脂需徹底清除。例如,BGA封裝中焊球裝配后需去除殘留焊膏,否則會導致短路或鍵合失效。
推薦清洗劑:中性水基清洗劑(如合明科技W3110、W3200),能滲透微小間隙(低至15μm),兼容金屬材料(銅、金)且不腐蝕芯片鈍化層。

模塑封裝前清洗
模塑前需去除芯片表面及基板上的污染物(如松香、離子殘留),避免塑封后分層或空洞。
技術要點:需關注清洗劑的表面張力(影響滲透性)和設備噴淋參數(壓力、角度),確保Microgap區域潔凈。
晶圓減薄與切割后清洗
晶圓減薄后需去除切割產生的硅屑和油脂,傳統溶劑型清洗劑逐漸被水基替代。
功率半導體模塊清洗
IGBT、DCB基板等功率器件需清除焊接后的助焊劑殘留,防止電化學腐蝕。
挑戰:高溫烘焙后的殘留物更難去除,需專用水基清洗劑(如UNIBRIGHT合明科技系列)配合超聲波或噴淋工藝。

水基清洗劑
優勢:環保(無VOC)、安全性高,適用于在線批量清洗(如SMT鋼網、回流焊治具)。
局限:需嚴格監控濃度(通過在線監測設備)和壽命,氣霧損耗是主要消耗因素。
溶劑型清洗劑
場景:精密器件快速干燥需求(如晶圓級封裝),但存在毒性風險(如氟代烴類)。
選型關鍵參數
污染物類型(錫膏、松香、金屬離子);
材料兼容性(鋁層、鈍化層);
工藝條件(溫度、噴淋壓力)。
SIP系統級封裝
堆疊芯片(PoP)需清洗Microgap區域的助焊劑殘留,合明科技的水基清洗劑通過低表面張力實現高效滲透。
汽車電子與醫療器件
高可靠性場景(如ECU、心臟起搏器)要求無殘留清洗,需通過潔凈度檢測(如離子色譜法)驗證。
綠色工藝:水基清洗逐步替代溶劑型,符合RoHS/REACH規范;
設備集成化:在線噴淋+濃度監測系統成為主流,提升清洗穩定性。
通過綜合工藝需求、材料特性及環保要求,選擇適配的清洗劑是提升半導體器件良率的關鍵。實際應用中建議結合設備能力(如超聲波、噴淋)進行工藝驗證。